三轴纳米微陀螺仪在京实现中试

　　近日，水木智芯科技（北京）有限公司承担的北京市科技计划课题“三轴纳米微陀螺仪中试技术研究”顺利通过专家组验收。

　　三轴陀螺仪是一种可以在同一时间内测量六个不同方向的加速、移动轨迹以及位置的测量装置，适合用于智能玩具，智能手机，智能平板，无人机等领域，具有广阔的市场前景。该课题由南非科学院院士孙博华教授领衔实施，成功实现15000颗4mm×4mm的三轴微陀螺仪MEMS芯片中试制备，芯片三轴测量范围、非线性度等主要指标性能优于国际同类产品，并形成4项结构设计和加工工艺专利。  目前，该公司正在与相关企业合作开展游戏用三轴陀螺仪产品性能测试，并计划加快推进产品规模化生产。