LED DBR溅射设备样机成功研制

　　北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司的课题《LED DBR溅射设备样机研制》于近日顺利通过验收。
　　课题以企业为主体，通过集成创新和产学研用相结合的运作模式，以工艺指导设备研发的方针，充分利用“十一五”PVD项目实施过程中积累的现有技术基础，集成创新突破LED DBR PVD多膜层交叉沉积等工艺技术，完成α机、β机以及商业机型的研制。
　　该设备可应用于LED领域DBR制备，实现我国LED领域PVD设备制造水平与国际先进水平的同步，并且推动半导体关键零部件和关键技术配套产业的技术水平和产业发展，从而大力推动我国从地区到国家的工业和经济发展，促进半导体制造装备业可持续性、跨越式的发展。