基于纳米薄膜的高频声表面波器件在京中试

　　近日，由北京燕东微电子有限公司承担的市科委纳米专项课题“基于纳米薄膜的高频声表面波器件中试技术研究”顺利通过专家验收。

　　声表面波器件在无线通信系统中起着前端滤波的作用,是个人移动通信设备和卫星、雷达等不可或缺的组成部分。目前，声表面波器件国际上主要由美国安华高科技公司（Avago）垄断。通过课题实施，燕东微电子公司与清华大学联合开发了基于氮化铝/金刚石纳米薄膜叠层结构的声表面波器件，通过优化声表面波的传输特性，实现了通信滤波器件的频率从2GHz提高到4.39GHz，单一芯片面积小于0.25mm2，并形成了月产500片声表面波器件晶圆片的中试生产能力，为实现声表面波器件的国产化开发，以及声表面波器件在高频高速率无线通信领域的应用奠定了技术基础。