近日，北京冶科纳米科技有限公司承担的北京市重大科技成果转化和产业化项目“60吨/年ITO靶材产业化”顺利通过专家验收。
通过项目实施，冶科公司采用常压氧气氛烧结法，制备出高密度ITO靶材，并通过进一步优化装炉方式提高单炉产量，建成了60吨/年ITO靶材生产线，生产的ITO靶材密度达到了ITO理论最高密度的99.6%，纯度≥99.99%，达到了国际主流产品技术水平。目前，该公司ITO靶材产品已经通过了京东方等用户单位的应用测试。